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ASML|微信 H5:追光實驗室

舉報 2021-07

作為半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠,光刻機代表著人類文明的智慧結(jié)晶。ASML 三十多年里在瑞利判據(jù)的指引下想要不斷突破的,就是對光的理解和“駕馭”。

ASML 通過多年來堅持不懈的科學(xué)探索精神、活躍靈動的創(chuàng)造力以及不斷革新光刻技術(shù),實現(xiàn)了許多里程碑式的突破,將更精密的光刻設(shè)備帶進現(xiàn)實。

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尖端的光刻技術(shù)不僅是人類構(gòu)筑現(xiàn)代文明的關(guān)鍵,運用現(xiàn)代技術(shù)與古老藝術(shù)之間搭建溝通之橋,也是 ASML 一直堅持的使命。二者融合交匯產(chǎn)生的魔法反應(yīng)讓人神往。

為了讓更多人深入了解光刻機,我們根據(jù)ASML 需求專門打造了一座“追光實驗室”等你來體驗。


01創(chuàng)意亮點

在這個特殊的實驗室里面,用戶不僅可以沉浸式地了解光刻機內(nèi)部的工作原理,還有豐富的 AR 互動深入了解光刻機的內(nèi)部及其背后的技術(shù)原理,體驗不斷探索極限的科技魅力。

還可以進入 ASML 光刻機的內(nèi)部,探索光源走過的每一個步驟,領(lǐng)略 ASML 是如何挑戰(zhàn)瑞利判據(jù),和摩爾定律賽跑,實現(xiàn)更小的線寬,在納米世界里做極限的攀登者。

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02用戶體驗

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03空間體驗

在空間1中,用戶通過手機攝像頭識別AR互動展示臺,可以360度地感受光刻機的核心模塊并聽講其運作原理

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ASML在推進摩爾定律的征程上,浸潤式光刻絕對是一項具有里程碑意義的技術(shù)。當傳統(tǒng)的干式光刻機日趨極限,分辨率縮小成為業(yè)內(nèi)擔憂的發(fā)展瓶頸。ASML成功地推出了浸潤式光刻機,用折射率大于1的水作為媒介,實現(xiàn)物鏡數(shù)值孔徑的增大,幫助最小分辨率得到提升,開辟了半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)的新世界。

在空間2中,可以讓用戶更加直觀地了解這一劃時代技術(shù)的魅力

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尖端的光刻技術(shù)不僅是人類構(gòu)筑現(xiàn)代文明的關(guān)鍵,運用現(xiàn)代技術(shù)與古老藝術(shù)之間搭建溝通之橋,也是 ASML 一直堅持的使命。二者融合交匯產(chǎn)生的魔法反應(yīng)讓人神往。

為了保護梵高的作品,ASML特制了便攜式測量系統(tǒng),讓文物保護人員可以更加方便和精確地監(jiān)測溫度、濕度、光照、空氣成分以及震動等會導(dǎo)致畫作變化的關(guān)鍵環(huán)境因素。而這也正是ASML對于技術(shù)一以貫之的理念——把速度和精度做到極致。

在空間4中,可以了解 ASML 和梵高之間的淵源。

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04互動小游戲

將ASML推上光刻機領(lǐng)先地位的另一大技術(shù),非雙晶圓工作平臺莫屬。晶圓在進入光刻流程前是要先進行測量和對準的。此前的光刻機只有一個工作臺,測量、對準、光刻等所有流程都在這一個工作臺上完成。相應(yīng)的整個流程的速度就受到了限制。

ASML 推出的雙工作臺系統(tǒng)(TWINSCAN system),在一個工作臺在給晶圓進行曝光的同時,另一工作臺可對下一片需曝光的晶圓進行測量,實現(xiàn)測量和曝光的無縫銜接,極大地提高了生產(chǎn)效率。

在這里,我們準備了兩個互動小游戲,讓用戶與TWINSCAN來場比試,極大地增強了小程序的趣味性,同時也能讓用戶更直觀的體驗到TWINSCAN究竟有多快,要多準!

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第一個游戲考驗速度,用手指在屏幕上沿白色虛線從左至右快速畫完

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第二個游戲考驗準確度,用手控制右邊方位儀,調(diào)整波浪線位置,使線條通過紅點

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