ASML|微信 H5:追光實驗室
作為半導體工業皇冠上的明珠,光刻機代表著人類文明的智慧結晶。ASML 三十多年里在瑞利判據的指引下想要不斷突破的,就是對光的理解和“駕馭”。
ASML 通過多年來堅持不懈的科學探索精神、活躍靈動的創造力以及不斷革新光刻技術,實現了許多里程碑式的突破,將更精密的光刻設備帶進現實。
尖端的光刻技術不僅是人類構筑現代文明的關鍵,運用現代技術與古老藝術之間搭建溝通之橋,也是 ASML 一直堅持的使命。二者融合交匯產生的魔法反應讓人神往。
為了讓更多人深入了解光刻機,我們根據ASML 需求專門打造了一座“追光實驗室”等你來體驗。
01創意亮點
在這個特殊的實驗室里面,用戶不僅可以沉浸式地了解光刻機內部的工作原理,還有豐富的 AR 互動深入了解光刻機的內部及其背后的技術原理,體驗不斷探索極限的科技魅力。
還可以進入 ASML 光刻機的內部,探索光源走過的每一個步驟,領略 ASML 是如何挑戰瑞利判據,和摩爾定律賽跑,實現更小的線寬,在納米世界里做極限的攀登者。
02用戶體驗
03空間體驗
在空間1中,用戶通過手機攝像頭識別AR互動展示臺,可以360度地感受光刻機的核心模塊并聽講其運作原理
ASML在推進摩爾定律的征程上,浸潤式光刻絕對是一項具有里程碑意義的技術。當傳統的干式光刻機日趨極限,分辨率縮小成為業內擔憂的發展瓶頸。ASML成功地推出了浸潤式光刻機,用折射率大于1的水作為媒介,實現物鏡數值孔徑的增大,幫助最小分辨率得到提升,開辟了半導體行業技術的新世界。
在空間2中,可以讓用戶更加直觀地了解這一劃時代技術的魅力
尖端的光刻技術不僅是人類構筑現代文明的關鍵,運用現代技術與古老藝術之間搭建溝通之橋,也是 ASML 一直堅持的使命。二者融合交匯產生的魔法反應讓人神往。
為了保護梵高的作品,ASML特制了便攜式測量系統,讓文物保護人員可以更加方便和精確地監測溫度、濕度、光照、空氣成分以及震動等會導致畫作變化的關鍵環境因素。而這也正是ASML對于技術一以貫之的理念——把速度和精度做到極致。
在空間4中,可以了解 ASML 和梵高之間的淵源。
04互動小游戲
將ASML推上光刻機領先地位的另一大技術,非雙晶圓工作平臺莫屬。晶圓在進入光刻流程前是要先進行測量和對準的。此前的光刻機只有一個工作臺,測量、對準、光刻等所有流程都在這一個工作臺上完成。相應的整個流程的速度就受到了限制。
ASML 推出的雙工作臺系統(TWINSCAN system),在一個工作臺在給晶圓進行曝光的同時,另一工作臺可對下一片需曝光的晶圓進行測量,實現測量和曝光的無縫銜接,極大地提高了生產效率。
在這里,我們準備了兩個互動小游戲,讓用戶與TWINSCAN來場比試,極大地增強了小程序的趣味性,同時也能讓用戶更直觀的體驗到TWINSCAN究竟有多快,要多準!
第一個游戲考驗速度,用手指在屏幕上沿白色虛線從左至右快速畫完
第二個游戲考驗準確度,用手控制右邊方位儀,調整波浪線位置,使線條通過紅點
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